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        Huace-4簡易探針臺的產品特點及應用

        日期:2023-09-12瀏覽:1925次

        Huace-4簡易探針臺

        產品簡介:

        探針臺是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。

        產品特點及應用:

        ◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等;

        ◆ 可用于6英寸以內樣品測試;

        ◆ 同軸絲杠傳動結構,線性移動;

        ◆ 可放置于手套箱內使用;

        ◆ 形狀輕巧,操作方便,價格實惠。

        技術參數

        臺體規格

        尺寸

        4英寸/6英寸

        水平旋轉

        360°旋轉,可微調15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置

        X-Y移動行程

        2英寸×3英寸

        X-Y移動精度

        10μm

        樣品臺Z軸調節

        可升降10mm

        樣品固定

        真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環

        針座平臺

        左右各一個針座平臺,**可放置6個探針座

        背電極測試

        樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極

        外形尺寸

        400mm長*380mm寬*500mm高

        設備重量

        20KG

        光學系統

        顯微鏡類型

        單筒顯微鏡/體式顯微鏡

        放大倍率

        16X-200X

        移動行程

        水平方向繞立柱360°旋轉,Z軸50.8毫米

        光源

        外置LED無極調節亮度環形光源

        CCD

        200萬像素/500萬像素/1200萬像素


        定位器

        X-Y-Z移動行程

        12mm*12mm*12mm

        移動精度

        10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

        吸附方式

        磁力吸附,真空吸附

        線纜

        同軸線/三軸線

        漏電精度

        10pA/100fA/10fA

        固定探針

        彈簧固定/管狀固定

        接頭類型

        BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

        針尖直徑

        0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

        針尖材質

        鎢鋼;鈹銅

        可選附件:

        加熱臺;
        顯示器;
        轉接頭;
        射頻測試配件;

        屏蔽箱;

        光學平臺;
        鍍金卡盤;
        光電測試配件;




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