pA 級~100mA 寬量程多通道矩陣模塊在半導(dǎo)體電學(xué)表征中的應(yīng)用

面對半導(dǎo)體、新材料行業(yè)單儀表通道數(shù)量少、多路測試布線繁瑣、設(shè)備投入成本高、微弱電流測試不穩(wěn)等行業(yè)痛點(diǎn)，華測儀器 HC-PAX 多通道電流矩陣模塊憑借高密度模塊化架構(gòu)，為科研實(shí)驗(yàn)室與量產(chǎn)產(chǎn)線提供靈活可控、高準(zhǔn)度、可規(guī)?；瘮U(kuò)展的電流自動化測試新方案。

1.模塊化靈活擴(kuò)容

產(chǎn)品采用高密度集成設(shè)計，單機(jī)箱集成可達(dá)128 通道，整機(jī)空間利用率大幅優(yōu)化，減少機(jī)柜柜體占用空間，對比傳統(tǒng)單通道配線方案，顯著降低機(jī)柜采購、繁雜線纜布線與后期運(yùn)維成本。通道以8 通道為選配單元，按需靈活加裝通道卡，支持多機(jī)箱級聯(lián)堆疊，系統(tǒng)可拓展至1024 通道，同時通道卡支持熱插拔，設(shè)備維護(hù)、通道增減無需整機(jī)停機(jī)斷電，不中斷整套測試系統(tǒng)運(yùn)行。

2.毫秒級極速切換

硬件搭載矩陣開關(guān)電路，標(biāo)準(zhǔn)20ms單通道切換速度，實(shí)現(xiàn)毫秒級通路快速啟停與切換，適配動態(tài)負(fù)載切換、多路器件連續(xù)高速循環(huán)掃描等復(fù)雜工況，打破傳統(tǒng)開關(guān)矩陣切換滯后、測試節(jié)拍受限瓶頸，優(yōu)化整線測試吞吐效率，縮短批量元器件 I-V 特性掃描周期。

3.寬量程全覆蓋

電流量程全域覆蓋±1pA~±100mA，依托低漏電流、低熱電動勢線路設(shè)計，減少線路熱電干擾與串?dāng)_噪聲，pA 級微弱漏電測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠、重復(fù)性優(yōu)異，一套設(shè)備可兼顧高阻絕緣材料微漏測試、常規(guī)元器件工作電流檢測等，實(shí)現(xiàn)從微弱微電流到常規(guī)器件測試，無需搭配多臺不同量程測試儀表。

4.強(qiáng)兼容易集成

硬件接口標(biāo)準(zhǔn)化適配市面主流靜電計、高精度數(shù)字源表、皮安表等測試儀器，無需改造原有主控儀表，僅通過 HC-PAX 即可將單臺測量儀表升級為多通道級自動化測試平臺，軟件層面支持恒流輸出、脈沖激勵、分段程控掃描多工作模式可切換，內(nèi)置多通道單獨(dú)時序編程功能，可自定義多路器件分時、同步測試邏輯，快速搭建自動化程控測試方案。

普遍適配高阻材料與元件測試、半導(dǎo)體器件特性分析、傳感器測試與標(biāo)定、電池與儲能測試、靜電與ESD研究、光電與光伏器件測試、環(huán)境監(jiān)測與科學(xué)儀器、多器件并行參數(shù)測試等領(lǐng)域。